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硅片半導體材料拋光用拋光液

所屬欄目:產品中心 作者:小編 發(fā)布時間:2021-12-24 16:52 瀏覽量:

硅片系列拋光液JSY-CM-S800特別適用于各種硅片、砷化鎵、磷化銦、鍺的拋光,具有穩(wěn)定性和分散性良好,去除率高、表面粗糙度小以及對工件無損傷等優(yōu)點。即使在稀釋倍率很高的情況下使用,仍具有很好的拋光效率和使用壽命。

物化指標:

項目Item

CM-S700A

CM-S800系列

CM-S1200

CM-S1300

CM-S800

CM-S801

A組分

A組分

名稱Name

砷化鎵拋光液

硅片拋光液

A組分

鍺拋光液

應用Application

GaAs晶片

硅片

磷化鋼晶片

鍺片

SiO2含量Content of

35±5

20±2

40±2

35±5

35±5

pH (20℃)

11.0±1.0

11.0±1.0

11.0±1.0

3.0±1.0

10.0±1.0

比重 Specific

graity(kg/L, 20℃)

1.23-1.235

1.12-1.18

1.275-1.285

1.2-1.3

1.2-1.3

粒徑 partical size(nm)

80±10

80±10

40±10

80±10

100±10

包裝Package (kg)

5, 25, 1250

符合RoHS標準RoHS complinat